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中图仪器 SuperView W1 光学 3D 表面轮廓仪广泛应用于半导体工艺检测、 超精密加工、 纳米材料、光学加工、集成电路工艺检测、汽车零部件、机器人、MEMS 器件检测、薄膜检 测、航空航天、国防军工、科研院所等行业及领域中。可测各类从光滑到粗糙的物体表面， 从纳米到微米级别工件的轮廓、线粗糙度、面粗糙度，提供依据 ISO/ASME/EUR/GBT 四 大国内外标准共计 300 余种 2D、3D 参数作为评价标准。
中图仪器 SuperView W1 光学 3D 表面轮廓仪具有以下典型特点： 1、 高精度、高重复性、高稳定性 1） 采用光学干涉技术、精密 Z 向扫描模块组成测量系统，保证测量精度高； 2） 精密的 Z 向扫描模块和独特的测量模式，保证测量重复性高； 3） 高性能的内部抗震设计，为测量高稳定性保驾护航。 2、 自动化操作的测量软件 依托人性化设计的测量软件，W1 1200 光学 3D 表面轮廓仪的操作具备如下特点： 1） 自动聚焦，帮助用户省去繁琐的调节过程； 2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程； 3） 扫描完成后，扫描模块自动跳转初始位置，无须用户手动操作； 4） 自动化测量，依托高精度定位光栅和相应软件模块，针对大尺寸样品可编程进 行自动化测量； 3、 功能强大的的 XtremeVision Pro 版 3D 形貌分析软件 XtremeVision Pro 版 3D 形貌分析软件，具有如下特点： 1） 分析工具齐全，几何分析、参数分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功 能模块齐全； 2） 同步分析，测量参数随提取剖面实时变化，实现测量的所见即所得；
光学 3D 表面轮廓仪助推超精密加工技术发展 机械零件的表面加工质量不仅直接影响零件的使用性能， 而且对产品的质量、 可靠性及 寿命也至关重要。 随着超精密加工技术的飞速发展， 超精密加工表面的微观形貌测量已成为 超精密加工领域中亟待解决的关键课题。 超精密加工表面极为光滑，表面粗糙度 Ra 值在几分之一纳米到十几纳米之间。加工超 光滑表面的材料主要有光学玻璃、有机玻璃、石英玻璃等光学材料，锗、硅等半导体材料及 铜、铝等金属材料。表面微观形貌测量的传统方法是机械触针法，该方法可通过触测直接获 得被测表面某一截面的轮廓曲线， 经计算机进行数据处理分析， 可得到接近真实轮廓的各种 表面特征参数。虽然该类仪器具有较高分辨率及较大量程（如 Talystep 触针式轮廓仪分辨率 可达 0.1nm，测量范围可达 100μm） ，但由于测量时尖锐的金刚石触针极易划伤被测样件的 超光滑表面并引起测量误差，因此其在超精密表面测量中的应用受到一定限制。 随着科技发展，扫描隧道显微镜（STM）及其衍生物原子力显微镜（AFM）相继出现， 使表面微观轮廓测量技术发生了革命性变革。 该类仪器不但具有可达原子尺度的超高分辨率 （横向分辨率 0．1nm，垂直分辨率 0．01nm） ，还能获得关于被测表面原子结构及功能特 性的大量信息。但 STM 和 AFM 对测量环境要求苛刻，需要采取良好的隔振措施和配备复杂 的传感器运动伺服控制系统，且仪器价格昂贵，测量范围也较小，在实际应用中还需解决精 密隔振技术、压电陶瓷的控制等技术难题。 自 1960 年激光器问世以来，由于激光具有单色性、相干性和方向性好、光强度高等特 点， 很快成为精密光学测量的理想光源， 各种类型的激光干涉仪均以真空中的激光波长作为 长度测量基准。 主要采用激光作为测量光源的表面微观形貌光学测量方法不仅能实现高精度 的快速非接触测量，而且系统结构简单、成本低，因此在超精密表面非接触测量领域得到了 迅速发展。 目前较为成熟的光学测量方法就是仪白光干涉为原理， 结合精密 Z 向扫描模块、 3D 建模算法的光学 3D 表面轮廓仪，也叫白光干涉仪。 中图仪器 SuperView W1 光学 3D 表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳 米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密 Z 向扫描模块、3D 建模算法 等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面 3D 图像，通过系统软件对器件表面 3D 图像进 行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的 2D、3D 参数，从而实现器件表面形貌的 3D 测量的光学检测仪器。
3） 一键分析，常用的分析流程可保存为方案，测同种样品一键获取分析结果，提 高批量测量效率； 4） 测量参数齐全， 可测依据 ISO/ASME/EUR/GBT 等标准的多达 300 余种 2D、 3D 参数； 4、 精密操纵手柄 集成 X、Y、Z 三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z 向聚 焦、找条纹等测量前工作。 中图仪器 SuperView W1 光学 3D 表面轮廓仪主要技术指标：
